Pada awalnya wilayah ini terbahagi menjadi tiga daerah, iaitu Owari, Mikawa, dan Ho. Setelah era Taika, Mikawa dan Ho disatukan menjadi satu daerah.Pada tahun 1871, setelah penghancuran sistem Han, seluruh wilayah Owari kecuali semenanjung Chita, dirasmikan sebagai wilayah Nagoya. Pada waktu yang hampir sama, Mikawa bergabung dengan semenanjung Chita dan membentuk wilayah Nukata.Wilayah Nagoya diubah namanya menjadi Wilayah Aichi pada April 1872 dan pada 27 November bersatu dengan Wilayah Nukata.